基于迈克尔逊干涉法的微小距离测量开题报告

1. 本选题研究的目的及意义

微小距离测量在科学研究、工业生产和生物医学等领域都有着至关重要的作用。

例如，在半导体制造中，需要对芯片进行纳米级别的精密加工和测量；在光学元件制造中，需要对透镜的曲率半径进行高精度测量；在生物医学领域，需要对细胞、组织等进行微观尺度的形貌观测和分析。

迈克尔逊干涉法作为一种经典的光学干涉测量方法，具有精度高、非接触、易于实现等优点，被广泛应用于微小距离的测量。

2. 本选题国内外研究状况综述

近年来，随着科学技术的不断发展，国内外学者对基于迈克尔逊干涉法的微小距离测量技术进行了大量的研究，并取得了一系列重要成果。

1. 国内研究现状

国内学者在基于迈克尔逊干涉法的微小距离测量方面开展了大量研究工作，并在提高测量精度、稳定性和自动化程度等方面取得了一些进展。

4. 研究的方法与步骤

本研究将采用理论分析、实验研究和软件开发相结合的方法，逐步开展以下研究工作：
1.首先，进行文献调研，深入研究迈克尔逊干涉法的基本原理、国内外研究现状以及最新进展，为系统设计和实验研究奠定理论基础。

2.其次，根据研究目标和技术指标，设计基于迈克尔逊干涉法的微小距离测量系统，包括光源选择、光路设计、信号采集和处理电路设计等。

3.然后，根据系统设计方案，搭建实验平台，进行系统调试和性能测试，并对实验数据进行分析和处理，验证系统的设计指标和性能。

5. 研究的创新点

本研究的创新点在于：
1.提出一种基于新型光源的迈克尔逊干涉仪结构，以提高测量系统的分辨率和稳定性。

2.采用先进的信号处理算法，对干涉信号进行降噪和分析，以提高测量精度和可靠性。

3.开发功能完善的系统软件，实现对测量数据的实时采集、处理、显示和存储，提高系统的自动化程度和易用性。

6. 计划与进度安排

第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。

第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲

第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文

7. 参考文献（20个中文5个英文）

1. 刘铁根，李相贤，刘畅，等. 基于迈克尔逊干涉仪的微位移测量系统[j]. 光学仪器, 2022, 44(3): 78-85.

2. 张艳丽，刘晓利. 基于迈克尔逊干涉法的微小位移测量[j]. 激光与红外, 2021, 51(11): 1430-1434.

3. 王龙, 何小元, 刘铁根. 基于迈克尔逊干涉的微小位移测量[j]. 应用光学, 2020, 41(6): 1299-1304.