FBCVD制备正化学计量比的TiN粉体开题报告

1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

1.正化学计量比tin研究背景氮化钛（tin）是一种典型的非化学计量比、具有面心立方密排结构的化合物（tinx，0.53＜x＜1.20），同时含有共价键、离子键和金属键，使之不仅具有金属特性而且具有陶瓷特性，不仅熔点高、硬度大、热稳定性好、耐磨损，而且具有优异的导电性能。

在催化、电极材料、航空航天、信息等领域中具有重要的应用价值[1][2][3]。

但是tinx的力学和导电性能等物化特性取决于化学计量比x，例如，当x=0.53时，熔点仅为2600℃，电阻率为70μΩ/cm；而当x=1时，熔点则高达3300℃[6]，电阻率仅为15μΩ/cm。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

1．本课题主要研究内容制备出tincl前驱体是后续高效制备正化学计量比tin的基础，但是ticl4与nh3的反应路径非常复杂，且现有资料对tincl的报道很少，因此本课题首先要制备出tincl粉体，掌握制备tincl的方法，揭示合成tincl的上限和下限温度；其次揭示tincl的分解规律，探究tincl的脱氯机制；最后对tincl进行结构表征与性能测试，考察tincl的形貌和构相转变规律，为后续fbcvd制备正化学计量比tin粉体创造条件。

2．拟采用的研究手段(1) 成功制备出tincl粉体，用xrd、sem、tem、icp、氮氧分析仪等手段分析不同温度和浓度下合成粉体产物中的物相种类和含量、粉体形貌、晶体结构等，探究合成tincl的上限和下限温度。

(2) 采用在线质谱仪测试不同温度下尾气中成分和含量的变化，揭示tincl的分解方式。